在无尘车间的设计和改造过程中，无尘室的气流形式多种多样，每种方式都有其优缺点，在无尘室的设计中，一定要根据现场的实际情况进行选择！无尘室的一般分类，无尘室气流的分类，可以分为以下几种，在这些气流方式明确后，就更容易设计净化车间，无尘室的设计。

一是层流

      层流气流沿均匀的直线运动，这种气流适用于无尘室需要设置更高水平的环境，无尘室等级一般为1-100级。空气通过覆盖率为100%的过滤器进入室内，并由两侧的架空地板或隔墙板返回。

层流分为水平层流和垂直层流：

A、 水平层流式：水平空气从过滤器向一个方向吹出，由对面侧壁的回风系统返回。粉尘随风向室外排放，下游侧污染严重。

优点：结构简单，运行后短时间内稳定。

缺点：施工成本高于湍流型，室内空间不易扩大。

B、 垂直层流式：在制造过程中或工作人员产生的粉尘能迅速排出室内，不影响其他工作区域。房间的天花板完全覆盖了ULPA过滤器，空气自上而下吹入，以获得更高的清洁度。

优点：易于管理，运行后可在短时间内达到稳定状态，不易受运行状态或操作人员的影响。

缺点：施工成本高，空间难以灵活使用，吊顶吊杆占用空间大，维修更换过滤器比较麻烦。

二是紊流

      湍急的空气从空调箱通过无尘室内的风道和高效空气过滤器进入无尘室，由洁净室两侧的隔墙板或架空地板返回。空气流动是非线性的，呈现不规则的湍流或涡流状态。紊流洁净室依靠送风气流不断稀释室内空气，逐步稀释被污染的空气，达到洁净。气体的数量决定了定义中的净化级别（换气越多，净化级别越高），此类型适用于1000-100000级无尘房间。

优点：结构简单，系统造价高，无尘室易于扩建。在一些特殊场所，可采用无尘工作台来提高无尘室的水平。

缺点：湍流产生的微尘颗粒漂浮在室内空间，不易排出，易污染工艺产品。此外，如果系统停止并重新激活，则需要很长时间才能达到所需的清洁度。

三是复合式：复合式是层流式和紊流式复合或合用，可提供部分超净空气。

A、 洁净通道：采用HEPA或ULPA过滤器百分百覆盖工艺区或工作区，使洁净度提高到10级以上，可节省安装和运行成本。

这种类型需要将操作员的工作区域与产品和机器维护隔离，以避免在机器维护期间影响工作和质量，这种类型主要用于ULSI工艺。

清洁隧道还有另外两个优点：A.易于弹性膨胀；B.维护区域内的设备易于维护。

B、 洁净管：产品工艺通过的自动生产线被包围净化，使洁净度达到100以上。由于产品、操作人员和粉尘产生环境的隔离，少量送风可获得良好的清洁度，节约能源。适用于无需人工操作的自动化生产线。适用于制药、食品、半导体等行业。

C、 洁净点：为了生产的需要，将10000~100000级湍流洁净室产品工艺区的洁净度提高到10~1000级以上；洁净工作台、洁净工作棚、洁净空气柜均为此类。