无菌室又称洁净室。

1、 无尘洁净室是专门设计建造的无尘洁净室，它能将空气中的颗粒物、细菌等污染物排放到一定的空间内，并对室内温度、洁净度、室内压力、风速及气流组织、噪声、振动等进行控制，一定需求范围内的照明和静电。

2、 无尘洁净室的原则。洁净室采用高效空气过滤器和空气净化设备，集尘率达到99.97～99.99995%，经该过滤器过滤后的空气可以说是非常洁净的。不过，除了人，洁净室里也有机器的尘源。一旦灰尘扩散，就不可能保持空间的清洁。因此，必须利用气流将灰尘迅速排出房间。

3、 洁净室里有三个灰尘。洁净室有三个原则：禁尘、携尘、产尘。空气淋浴室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制粉尘的净化设备之一。它可以大大减少工作人员进出洁净室造成的污染问题。风淋室两扇门的电子联锁还可以起到气闸室的作用，防止外部污染和未净化空气进入无尘洁净区，达到生产车间要求的清洁生产环境。

4、 洁净室的主要功能是控制产品（如硅片）所接触大气的清洁度、温度和湿度，使产品在良好的环境空间中生产制造。这个空间叫做洁净室。根据公约，无尘净化水平主要依据每立方米空气中粒径大于分级标准的颗粒数量。也就是说，所谓无尘不是没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，本标准中的粉尘颗粒与我们常见的粉尘相比是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点粉尘也会产生非常大的负面影响，所以在光学结构产品的生产中，无尘是必然的要求。

5、 将每立方米0.5μm以下的细粉尘控制在3500以下，即可达到无尘标准。目前，芯片级生产加工中使用的无尘标准对粉尘的要求比其他标准更高。这样的高标准主要用于一些更高层次的芯片生产。微尘量严格控制在每立方米1000粒以内，业内俗称1K级。