净化工程各级空气洁净度的空气净化处理应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。对于10万级空气净化处理，可用次高效空气过滤器代替高效空气过滤器。

       空气过滤器的选择、布置及安装方式应符合下列要求：空气粗滤器不采用油浸式过滤器；净化空调系统正压段设置中效空气过滤器；净化空调系统末端应设置高效空气过滤器或次高效空气过滤器；高效空气过滤器的安装方式应简单可靠，并适合检漏和维修更换；中效、次效、高效空气过滤器应安装按额定风量选择，在同一净化车间设置阻力、效率相近的高效空气过滤器。

       在确定集中式或分散式净化空调系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积和位置。生产过程连续时，洁净室或净化车间面积较大，位置集中、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室应采用集中净化空调系统。

       净化空调系统需要电加热时，应选用管式电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并采取消防安全措施。

       送风机可根据净化空调系统的总送风量和总阻力值选择，中效和高效空气过滤器的阻力应按其初始阻力的2倍计算。

       净化工程除直流系统和带工作风机的系统外，还应采取防倒措施，防止室外污染空气通过新风出口进入净化车间。

       净化空调系统的设计应合理利用回风。当工艺中产生大量有害物质，局部处理达不到卫生要求，或对其他工艺有害时，不应使用回风。