净化无尘车间的气流特点检查净化车间工作正常所进行的各项测试中，其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染，从而防止污染在室内的积累，室内必须有充分的气流流动。所以对气流必须进行检测。

    在紊流洁净室中，风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚，无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。

    在单向流净化车间中，为保证关键区域达到最洁净的水平，其送风直接来自高效过滤器。

    净化车间垂直层流式方向要保持均一气流必须：

    (1)吹出面的风速不可有速度上的差异；

    (2)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间

    影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

    净化车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

    净化车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。